【摘 要】
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多层介质高反射镜是激光器中重要的光学元件之一。对高功率的激光器来说，其光学零件的表面所沉积的高反射膜抗激光损伤阈值的大小直接影响激光器系统的使用寿命，为此，我们进一步
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多层介质高反射镜是激光器中重要的光学元件之一。对高功率的激光器来说，其光学零件的表面所沉积的高反射膜抗激光损伤阈值的大小直接影响激光器系统的使用寿命，为此，我们进一步深入研究了多层介质高反射膜在激光照射下的损伤机理，选用合适的薄膜材料，采用混合膜的制备方案，经过多次实验并优化工艺参数，找到了提高薄膜抗激光损伤阈值的途径及制备高强度薄膜的方法。试验和测试结果表明，所制备的膜层完全满足课题中所使用的激光器系统的要求。
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