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理想的SiGe/Si超晶格通常是指界面陡峭的、完全共度的、无限尺寸的、严格的周期性体系,而实际体系可能存在界面展宽、应变弛豫、边界以及周期起伏等效应.该论文系统地研究了非理想SiGe/Si超晶格的结构和光散射特性.包括由于原子扩散引起的异质界面展宽效应、在高温退火下的应变也豫效应、超晶格的有限尺寸或者边界效应、层厚起伏效应,以及由有限尺寸起晶格堆积而成的多重超晶格的声子散射特性.