射频CO₂激光器因为其独特的优点,在激光加工领域中占有非常重要的地位。射频电源是射频CO₂激光器的重要组成部分,射频电源设计的好坏关系着射频CO₂激光器的性能。本论文主要研究了小功率射频电源系统的设计方法。首先回顾了射频CO₂激光器的发展历程,在此基础上介绍了射频电源的发展历程以及研究现状。系统整理了射频气体放电的相关理论,包括放电气体等效阻抗,射频气体放电的方式及理论模型,在此基础上讨论了射频激励频率对射频CO₂激光器的影响。同时介绍了射频电源的匹配概念和相关参数。其次设计了两种射频电源。根据自激式射频电源的要求,设计了振荡与功放一体化的电路,还采用四分之一波长微带传输线进行输出电路匹配,并通过计算获得了最优的四分之一波长微带传输线的参数。同时设计了它激式射频电源。采用射频电路设计软件ADS2008分别仿真设计了它激式射频电源的射频振荡器、射频功率放大器以及匹配电路。通过分析仿真结果得出了它激式射频电源适合激光管与射频电源分体化的射频CO₂激光器的结论。最后对所设计的自激式射频电源进行制板实验。通过对比实验,得出采用96%的氧化铝陶瓷基板的自激式射频电源适用于激光管与射频电源一体化的射频CO₂激光器的结论。