单片微波集成电路(MMIC)具有尺寸小、重量轻、可靠性高、生产重复性好等优点。作为相控阵雷达发射/接收(T/R)组件的重要组成部分,数字式移相器也已经不断向着以GaAs工艺为基础的MMIC数字式移相器的方向发展。本论文首先概述了MMIC的发展概况,MMIC移相器的应用和发展。其次对各种移相器进行了理论上的分析和探讨,介绍了各种移相器的原理和设计。然后对用于单片微波集成电路的无源器件和有源器件进行了分析,介绍了其各种等效模型。笔者对各MMIC foundry进行了调研,并最终选择了WIN—foundry的PL15—10工艺线。首先用ADS仿真了WIN—PL15—10中pHEMT的开关特性,然后对各个移相位设计合适的移相网络设计了X波段MMIC六位数字移相器,六位都采用集总元件设计,小相位采用单管并联移相网络结构和单T型结构,大相位采用单T型结构串联结构和高低通滤波器结构进行设计仿真。并根据相关设计规则完成版图设计。该移相器工作频率在7～11GHz,64个移相态均方根移相误差(RMS)小于2°,输入回波损耗小于14dB,输出回波损耗小于-8.5dB,插入损耗为9±1.5dB,基本达到了设计指标的要求。