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作为传统光谱仪的更新换代产品,以声光可调谐滤波器(AOTF)作为分光元件的光谱仪引起了人们的普遍关注。AOTF是利用声光衍射原理制成的分光器件,初期大多采用体器件的结构。我们在体器件的基础上,采用集成光学工艺,制成集成光学声光可调谐滤波器(IAOTF)。同体AOTF器件相比,IAOTF的结构更加紧凑,体积更加小巧,衍射效率可接近100%,带宽更窄,并大大降低了所需的RF驱动功率。在此基础上,我们首次研制成一种基于IAOTF的近红外光谱仪。它是一种全固态装置,没有任何机械传动和调节机构,同传统的光谱仪