【摘 要】
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该文系统研究了通过脉冲激光沉积、激光分子束外延和磁控制溅射法制备的BaTiO,Pb(ZrTi)O薄膜和BaTiO/YBaCuO,Pb(ZrTi)O/YbaCuO集成薄膜的结构特征、生长特征和生长机理;研究
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该文系统研究了通过脉冲激光沉积、激光分子束外延和磁控制溅射法制备的BaTiO<,3>,Pb(ZrTi)O<,3>薄膜和BaTiO<,3>/YBaCuO,Pb(ZrTi)O<,3>/YbaCuO集成薄膜的结构特征、生长特征和生长机理;研究并解释了Pb(ZrTi)O<,3>/YbaCuO集成薄膜的电容温谱、频谱特性.我们成功地制备出了高质量的BaTiO<,3>,Pb(ZrTi)O<,3>薄膜和BaTiO<,3>/YBaCuO,Pb(ZrTi)O<,3>/YbaCuO集成薄膜,其铁电性能已达实用水平.
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