对一种支链嵌套三自由度并联机器人机构进行研究，使其能够在满足约束条件的前提下，提高产品质量、加快生产效率，以满足人们对高效率的追求与硅片传输技术发展的需要。本文首先简单概述了硅片传输、并联机器人以及机器人轨迹规划的发展现状，并对类SCARA并联机器人轨迹规划的研究背景与意义进行了论述。其次，通过对工业中几种常用速度规划曲线的分析与优缺点的对比，针对本文研究对象，选定采用S型速度曲线。根据研究对象的特点，在操作空间中分别对末端操作手的水平方向与竖直方向运动进行规划，并对互不影响的两个方向的运动进行叠加，利用MATLAB软件求解出最优解，得到用时最短、运动最平稳的轨迹。最后，在柱坐标系中对类SCARA并联机构的位置、速度、加速度进行分析，得到其数学模型，在此基础上通过空间转换，得到各控制电机各个参数的数学模型，利用MATLAB计算仿真出各电机的转动位移、速度与加速度曲线，实例验证了本文规划的可行性。