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熔石英玻璃光学性能优良,紫外波段透过率高,广泛的应用于强光光学系统中。在高功率激光辐照下,熔石英光学元件的激光诱导损伤成为阻碍高功率激光装置稳定运行及提升负载能力的主要障碍。因此,实现紫外熔石英元件激光损伤特性的准确测试及其阈值提升具有重要的工程应用意义。本文围绕熔石英元件激光损伤特性测试以及亚表面划痕诱导损伤有关的理论及技术问题,设计并搭建了自动化的激光损伤阈值测试装置,对亚表面划痕诱导激光损伤的影响规律进行了分析,理论结合实验研究了HF酸刻蚀、离子束抛光后处理工艺对亚表面划痕的影响规律以及对阈值