光纤连接器是光纤通信中的连接器件,其对于光纤系统连接精度起着至关重要的作用。其中,光纤连接器的几何参数和端面形貌的质量影响着连接器的精度,想要得到稳定的光纤系统,就必须对光纤连接器进行非常详细的检测,主要检测的参数包括：三维形貌、曲率半径、研磨偏心和光纤高度值,并结合这些参数给出最终的评价结果。本论文主要研究微米尺度特定区域三维形貌干涉测量新方法新技术,最终达到加工生产的目的。在综合分析了各种微结构形貌测量方法的基础上,本课题采用了Michelson型千涉显微系统,结合移相相位测量技术来获取光纤连接器的形貌,设计并完成了光纤连接器端面参数检测干涉仪。本文的主要工作包括以下几个方面：1.确定本文采用的Michelson干涉检测方法。2.综合比较不同光源,结合具体的要求选择本系统的干涉光源。3.对系统放大倍率进行了标定。4.研究了光纤连接器几个参数的定义,并结合相关的算法得到最终的结果与评价结论。5.运用移相干涉技术得到所测端面的形貌。6.成功实现了PZT的移动与CCD采集的同步进行,并且在五步移相结束后PZT能够复原到初始位置,为下一次采集信号做准备。7.对系统进行了整体机械设计,达到加工的目的。