空心激光与硅材料作用产生温度场的数值模拟与分析

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本文建立了空心激光与硅材料相互作用的理论模型,基于有限元方法通过COMSOL软件进行仿真模拟,得到了空心激光与硅材料作用产生的温度和热应力的分布,总结了空心激光对硅材料作用产生温度场和应力场的一些特征和规律。数值结果表明,空心激光作用在硅材料表面的温度是外围高中间低的,虽然空心激光中心的光强为零,对应的材料位置没有直接受到激光的辐照,但是由于热传导的作用,四周的热量会向中心位置汇聚,使中心位置的温度慢慢升高。同时本文还用空心激光和实心激光与硅材料作用产生的温度场进行了对比,分析了它们之间的差异。本文的研究可为激光与物质热作用的研究提供理论基础,对于一些有特殊要求的激光损伤及工件的加工有一定的理论帮助,具有一定的实践意义。
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