微光机电系统(Micro-opto-electro-mechanical System, MOEMS)是微光学、微机械、微电子技术的融合,由于采用了集成工艺制作技术,具有体积小,响应快,集成定位精确,具有大规模生产能力,价格低廉的特点。采用微机械加工技术制造出的MEMS器件不但具有体积微小化、功能集成化的特点;而且提高了使用的可靠性,降低了成本,这对于许多高新技术领域的发展具有重要意义。加速度传感器就是MEMS技术应用的一个重要领域之一,在军用航空和民用相关领域有重要的发展前景。研究高性能的MEMS惯性加速度计已成为世界各国的研究热点文章首先介绍了基于微光电子机械系统(MOEMS)技术的光强型光纤加速度记的应用范围、研究现状和一些典型的光纤加速度计的结构。在以往课题研究基础上,提出了一种结构简单,基于各向异性体硅微加工技术的光纤加速度传感器。阐明了该加速度计的工作原理,对重要的公式进行了详细的理论推导。利用有限元软件ANSYS对加速度传感器敏感元件结构进行了计算机模拟仿真,通过静力学分析、模态分析,对该器件结构进行了优化,并对性能进行了分析。然后探索了体硅微加工制作工艺,制作了若干样品,并探讨了削角补偿的机理及应用。