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偶次缺级编码型二值相位光栅是一种偶次衍射级相互抵消的特殊的光学分束器件,所得光束阵列为偶数,具有衍射效率高、且阵列光强度均匀性不受入射光波分布影响等优点,能够满足将单一输入信息变换成多个输出信息的要求,在光通信、光互连、光计算及存储、多重成像等工业和军事领域具有重要的应用价值。本文研究了偶次缺级编码的实现方法,并利用基于模拟退火算法和下坡法的自编计算机辅助软件包对光栅进行设计和优化。采用电子束直接曝光和反应离子刻蚀在石英基底上进行光栅的制作,光栅分束数为16×16,周期为1.2mm,实际