【摘 要】
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本文介绍了金属有机化学气相沉积（MOCVD）的基本情况及材料生长的优势，讨论了用MOCVD生长TM模808nm激光外延片的生长工艺。采用15度偏角砷化镓单晶片做为衬底，研究了不同气相砷磷
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本文介绍了金属有机化学气相沉积（MOCVD）的基本情况及材料生长的优势，讨论了用MOCVD生长TM模808nm激光外延片的生长工艺。采用15度偏角砷化镓单晶片做为衬底，研究了不同气相砷磷比同固相GaAsP中P组分的关系，分析不同量子阱厚度及应变量对轻重空穴的影响，找到了不同阱宽厚度影响激光器模式的厚度转变点。当阱宽为14nm时，可以得到TM模式的808nm激光器。对波导层厚度进行了优化，最终制成了TM模808nm激光器，其斜率效率最大1.35W/A，最大光电转换效率为60.2%@3.6A，在10A电流下输出功率为11.5W，可以常温下3W连续工作，老化450小时退化率小于3%。
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