【摘 要】
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黑硅作为一种在可见光以及近红外区域具有很高光吸收率的新型硅材料,使其在太阳能电池和光电探测器领域有着巨大的应用前景,并得到了业内的广泛关注,近些年黑硅的制备以及性
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黑硅作为一种在可见光以及近红外区域具有很高光吸收率的新型硅材料,使其在太阳能电池和光电探测器领域有着巨大的应用前景,并得到了业内的广泛关注,近些年黑硅的制备以及性能研究也成了热点问题。本文主要的研究内容是利用两种湿法腐蚀相结合的方法制备出表面微结构化的黑硅材料,这种制备方法简单易行,具有良好的可操作性。碱刻蚀中我们首先研究了腐蚀时间、腐蚀温度、腐蚀液浓度对黑硅表面微结构的影响,最终确定KOH溶液浓度1%,腐蚀时间15分钟,腐蚀温度20分钟制备黑硅样品形貌最好。之后利用贵金属纳米颗粒作为催化剂,采用酸刻蚀对黑硅表面进行改性使其形成多孔硅,对可见光波长范围的光吸收率能达到95%。
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