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微机电系统(MEMS)属于微尺度领域的范畴,具有一系列独特于宏观领域的性质。在力学方面,微尺度效应引发的粘附现象通常容易被忽略并导致设计上的失误。微梁正在发展成为各种微系统共振器,如共振加速度器、微机电滤波器、微振动电机等的重要部件。然而,由于装置的几何复杂性、物理条件以及微机械结构中不可忽略的微尺度效应等问题,使得难以整合到现有的计算程序中,设计工具远没有跟上MEMS发展的步伐。有效地仿真和预测MEMS的非线性行为的能力在估计系统性能和指导可靠性核查过程中是非常重要的。传统的Galerkin方法提