氮化铝陶瓷耐高温,耐腐蚀,热导率高,硬度大以及热稳定性好,在微电子工业中具有广泛的应用前景。国内通过流延成型常压烧结工艺制备的氮化铝陶瓷已经实现工业化生产,但是其并不适用于大型复杂零部件的生产。热压烧结氮化铝陶瓷生产过程相对简单,适用于具有一定厚度的氮化铝块体的制备。本文采用国内工业化生产的氮化铝粉体对热压烧结氮化铝陶瓷的最佳烧结工艺进行研究。通过改变氧化钇添加剂的粒径,添加剂的含量,热压烧结的烧结温度以及保温时间来研究其对氮化铝陶瓷密度和热导率的影响。并在此基础上结合常压热处理工艺研究热处理时间对氮化铝陶瓷性能的影响。最后对氮化铝陶瓷的加工工艺进行初步探索。在对氮化铝进行热压烧结的结果表明:热压烧结中采用粒径为0.5-1μ叫的氧化钇添加剂制备的氮化铝陶瓷的密度和热导率均比采用1-3 μm的氧化钇作为添加剂制备的氮化铝陶瓷高。采用粒径为0.5-1μm的氧化钇作为添加剂,在添加剂含量大于0.125%时,随着添加剂含量的增加样品的致密度不发变化,样品均可致密,样品热导率呈现出先上升后下降的趋势。添加剂含量为1.5%时随着烧结温度的升高样品密度不发生变化,样品热导率呈现上升趋势;随着保温时间的延长样品致密度不变,热导率呈现出先上升后下降趋势。在对热压烧结获得的氮化铝陶瓷进行常压热处理的研究结果表明:随着热处理时间的延长,含有添加剂的样品密度呈现出下降的趋势,氮化铝陶瓷晶粒不断长大。第二相在氮化铝颗粒的表面呈现出先减少后增加趋势。随着添加剂含量的增加不同热处理时间下的氮化铝陶瓷热导率均呈现出先上升后下降的趋势。其中添加剂含量为1.5%,烧结温度为1820℃,热处理时间为1.5 h时氮化铝陶瓷的热导率最好。在对氮化铝陶瓷进行加工工艺探索的结果表明:200 MPa下等静压成型的氮化铝块体可用于机械加工,采用氮化硼用于分隔氮化铝素坯,热压烧结后制备的氮化铝陶瓷可自动分开。