随着新材料和微纳加工技术的发展，喷墨打印朝着高精度、低功耗方向迅速发展，并在精密制造、生物工程等领域获得了应用。热气泡式喷墨打印是利用热生长的气泡产生的压力将喷墨腔室中的墨水挤出喷嘴形成墨滴，是喷印的主流技术之一。本课题组前期利用碳纳米管一维结构的限热效应，研制出以碳纳米管为加热元件的低功耗微气泡发生器，本文以石墨烯取代传统金属作为碳纳米管微气泡发生器的电极，拟构建更低功耗的热喷印头。　　本文研制的基于石墨烯-碳纳米管复合结构微气泡发生器的热喷印头由包含微气泡发生器阵列的玻璃基片和加工了微流体结构的硅基片键合而成，每个喷印单元包含两个微气泡发生器和两个监测微气泡发生器温度环境的碳纳米管温度传感器。主要研究了基于紫外光刻和感应耦合等离子刻蚀的硅基底的高深宽比三维微流体结构的微加工工艺，得到了表面平坦和垂直度较好的微结构，喷嘴的最小直径为10μm；研究了以石墨烯为中间层的硅-玻键合工艺，得到了完整的热喷印头结构；最后利用课题组研制的热喷印头驱动及测试系统研究了热喷印头单元的性能。本文研制的喷印头原型单元实现双气泡喷液的最小输入功率为822μW，液滴体积~0.03pL，对应600dpi的精度；实验结果表明，增大输入功率可缩短气泡成核时间，加快气泡生长速度，提高器件的能耗效率。