【摘 要】
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对于粒子的光散射研究,将给半导体晶片的检测起到一个很好的理论指导作用.在粒子光散射计算的T矩阵方法中,将入射场和散射场用球矢量波函数展开,通过Maxwell方程推出二者之间
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对于粒子的光散射研究,将给半导体晶片的检测起到一个很好的理论指导作用.在粒子光散射计算的T矩阵方法中,将入射场和散射场用球矢量波函数展开,通过Maxwell方程推出二者之间的关系-零场方程,可获得散射场和入射场展开式系数之间的传输矩阵-T矩阵.引入超椭球函数来摸拟粒子的各种形貌,通过对超椭球表面的三角形剖分获取表面的几何信息.将几何信息导入零场方程得到任意粒子的散射的T矩阵.将T矩阵方法应用到平面上的粒子的散射问题,它的入射场有三部分组成,一是直接作用到粒子的入射场;二是在平面发生反射后再作用粒子的入射场;三是粒子和平面之间存在的相互作用场.引入所谓得反射矩阵来考虑相互作用场的影响,通过对平面波和球矢量波函数的相互展开来求解反射矩阵.这样就得到平面上粒子的光散射的T矩阵.最后,本文给出该模型的仿真结果.
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