原子力显微镜(AFM)在纳米研究领域的应用越来越广泛,它不仅在三维形貌测量上具有原子级别的分辨能力,还能够用于力-位移曲线的测试。获得的力曲线,可以作为如表面科学、生物学等多种领域的研究基础。在实际的测量中,AFM探针的几何形貌会对测量结果产生关键的影响。例如,图像扫描中,探针端部半径的存在使得部分陡峭样品特征产生失真;压痕测试中,不同几何形貌的探针会使样品产生不同的变形特征,从而影响测试结果。本文将主要通过盲建模和纳米压痕两种方法对AFM探针进行标定。其中,盲建模(BTR)是一种易于操作的探针标定算法,但它对噪声非常敏感,在实际使用中降噪阈值会对盲建结果的准确性产生重要的影响。此外,通过纳米压痕实验进行探针轮廓标定的方法涉及到面积函数的确定以及弹性接触理论的选择等等。全文的主要内容包括盲建模探针标定方法、纳米压痕探针标定方法,以及压痕形貌误差修正方法研究。在盲建模探针标定前,通过仿真实验验证了最佳阈值法的可行性,并对探针三维模型的截面积提取进行了分析,确立了AFM探针的面积函数。此后,系统介绍了纳米压痕标定方法,并对两种三棱锥探针进行了标定实验,它们的名义半径分别为40nm和8nm。在完成探针标定后,本文还提出了一种探针标定的应用方法,即利用标定的探针半径对原位压痕扫描图像进行误差修正,确立了误差模型以及对应的修正方法,并通过实际的压痕硬度测试验证了误差修正的有效性。