高精度MEMS角速率测量系统的设计与实现

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【摘要】

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【作者】

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孙常善

【出处】

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哈尔滨工程大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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MEMS 角速率传感器三轴标定温度补偿滤波

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