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上世纪90年代以后,随着微电子技术和计算机工业迅速的发展,具有高存储密度和存取速度、抗辐射、非挥发等特点的铁电薄膜存储器受到了人们的广泛关注。锆钛酸铅(PZT)系铁电材料具有一系列良好的性能,如较大的剩余极化值、较低的热处理温度等,是目前铁电存储器所用的主要材料。然而,PZT薄膜存在一些致命的缺点,如在金属电极上抗疲劳性能差,含有毒元素Pb等。在越来越重视环境保护的时代,寻求新的无铅铁电材料来取代PZT变得尤为重要。Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)(BNT)铁电薄膜由于不含铅