该文在对现有MEMS设计过程和MEMS特点详细分析的基础上,借鉴IC设计和机械设计过程,结合基于部件库的设计重用思想,建立了一个虚拟组装设计过程.采用自顶向下和自底向上相结合的设计方法,基于部件库成功地实现MEMS器件的虚拟组装.为了表达和描述虚拟组装设计过程中的组装单元信息、复杂的组装关系,该文提出了增强关联图组装模型.该模型是在借鉴了机械设计中的关联图装配模型基础上,结合MEMS的特点,对其进行了改进而成.它充分体现了MEMS组装的层次性和组装设计过程的阶段性.该文还在此模型基础上提出了关联图简化算法,完成了虚拟组装的顺序规划.该文还专门就虚拟组装中的可组装性和可加工性问题做了深入探讨,分析了影响可加工性的诸多因素,提出了"化整为零"的可加工性检测策略.该策略的主要思想是将可加工性检测的任务细化,穿插到虚拟组装的各个阶段进行有针对性的可加工性检测.而层部件及其特征造型方法的提出,正是为此策略的实施提供了一个可操作的解决方案.MEMS的一个重要特性就是具有运动性能,我们把具有运动性能的部件称之为运动部件,每个运动部件都具有反映其运动特性的动态模型.部件的虚拟组装必然涉及到部件动态模型的组装问题.为此该文分析了虚拟组装过程中,器件动态模型的建立方法,并实际推演了微泵的动态模型建立过程.最后在理论研究的指导下,以微泵的虚拟组装为例,演示了虚拟组装设计的全过程,验证了组装模型的有效性和可操作性.