论文部分内容阅读
TiO_2薄膜具有大的折射率和介电常数、在可见光和红外波段有具良好的透过率以及良好的耐磨性和热稳定性,因而被广泛应用于光学薄膜、微电子器件和保护涂层。本论文采用对向靶直流反应磁控溅射法制备了多晶TiO_2薄膜,系统研究了退火处理和金属离子掺杂对其微观结构、表面形貌和光学性质的影响。通过对制备态多晶TiO_2薄膜的研究,发现随着溅射气压的降低,多晶TiO_2薄膜从锐钛矿相转变为锐钛矿和金红石两相共存结构,薄膜中金红石含量的增加抑制了锐钛矿相晶粒的生长。由于溅射粒子能量和迁移率的