【摘 要】
：
本文在综述硅基SiO薄膜研究进展、表征方法、研究方法的基础上，着重研究用热氧化法和等离子体化学汽相沉积法(PECVD)制备硅基SiO薄膜的工艺，发展了薄膜制备技术，给出了SiO薄膜物
论文部分内容阅读
本文在综述硅基SiO<,2>薄膜研究进展、表征方法、研究方法的基础上，着重研究用热氧化法和等离子体化学汽相沉积法(PECVD)制备硅基SiO<,2>薄膜的工艺，发展了薄膜制备技术，给出了SiO<,2>薄膜物理特性研究结果。
本文采用热氧化法在Si基上淀积SiO<,2>薄膜：在青岛赛瑞达MRl3程控扩散炉中不同的实验条件下高温处理Si基片，制得了膜厚为618A均匀致密的无定形SiO<,2>薄膜。最后利用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱XPS、扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪等仪器对SiO<,2>膜的结构、形貌、成份及化学配比进行了测试分析。
本文同时研究了等离子体化学汽相沉积法(PECVD)的制备工艺，并设计了具体实验方法。
通过本论文的研究，取得了一定的成果，但是我们可以看到用热氧化法和PECVD法在硅片上制备SiO<,2>薄膜，仍需在工艺方面作进一步的研究与改进。
其他文献
为探讨根际供水状况与姜叶片需光特性的关系,通过模拟干旱与遮光(50%)交互处理,研究了自然光照正常供水(T1)、遮光正常供水(T2)、自然光照干旱(T3)、遮光干旱(T4)等对姜叶片
以Y2O3、Al2O3、CeO2和Sm203等纳米粉末为原料,采用固相反应法制备了不同浓度掺杂的(Ce,Sm):YAG陶瓷料棒,研究了不同烧结工艺对YAG陶瓷料棒致密度的影响。采用光学浮区法,生长出不同掺杂浓度的(Ce,Sm):YAG荧光晶体。以XRD、SEM等手段表征其微观结构；用紫外-可见光分光光度计测试了(Ce,Sm):YAG晶体的吸收光谱和光学透过率；用光致发光光谱仪(PL)测试了其荧光光
本文首先测量了NLBO晶体在紫外-可见-红外波段的透射光谱和反射光谱,并计算得到在上述波段的吸收光谱。样品在红外-可见-紫外波段,即波长在400nm～2000nm范围内,透光性能良好,
从实验和理论两个方面对锂离子电池正极材料LiCoO_2进行研究。一、使用脉冲激光沉积技术,在不同的沉积条件下制备了锂离子电池正极材料LiCoO_2的薄膜。用XRD对样品进行晶体结构分析,用SEM、FESEM和AFM分析了样品的表面形貌。结果显示,在光滑的Si(100)、Si(111)和不锈钢上LiCoO_2均沿c轴择优生长;激光脉冲频率和衬底温度是影响晶粒大小的最主要因素;在较大的脉冲频率(35H
Fe-Ga合金作为一种新型的磁致伸缩材料,是近年来继Tb-Dy-Fe之后的又一种磁致伸缩智能功能材料。本论文主要研究此种新型磁致伸缩合金,意图找出该合金的特殊性质、形成机制和
浸润性是固体表面的一个重要特征。它在人们生产和生活中起着重要作用并被广泛应用，因此，从一些具有特殊性质的材料出发，研究和开发其表面浸润性，制备出从超疏水到亲水变化的材料
ψ(2S)是D(D)质量阀以下最重的粲偶素，它可以辐射跃迁到电荷宇称为正的粲偶素，如ηc(2S)，xcJ等。xcJ作为粲夸克偶素家族中重要成员，可用于研究P-波三重态的性质和衰变机制，如螺旋
本文在变形量子化的形式下研究了相互作用的谐振子。利用待定系数法计算了相互作用的费米振子、玻色振子，以及费米振子与玻色振子的能谱与Wigner函数，并在非反对易Grassman空间
近年来，在纳米磁性薄膜中，有不少关于具有周期性空孔的磁性反点阵薄膜的报道。这种在磁性薄膜表面上应用纳米加工技术得到的反点阵的最初研究是基于它的磁记录潜力，逐渐的有关于