摘要：点胶是一项重要的微电子封装工艺,而喷射式点胶是目前发展最为迅速的点胶方式,具有胶滴一致性好、生产效率高以及适用范围广等优点。为了实现高频率、高性能的微量喷射点胶,本文设计了一种新型的含柔性放大臂双压电叠堆驱动的喷射点胶阀。本文首先介绍了点胶技术的发展现状以及压电叠堆的相关知识；接着,根据机械碰撞式喷射点胶技术的原理,提出了含柔性放大臂双压电叠堆驱动喷射阀方案,完成了喷射阀结构设计,并对微位移放大机构和流体相关结构进行了详细的设计和分析；然后,为了研究喷射阀喷针的动态特性,建立了喷射阀的数学模型,利用Matlab/Simulink进行了仿真分析,得到了喷针的位移曲线和速度曲线,并分析了驱动电压、铰链刚度、喷针质量等关键参数对喷射阀喷针动态性能的影响；最后,利用喷射阀试制机搭建了点胶实验系统,利用该实验系统完成了喷射阀喷针动态特性、点胶图案、胶滴喷射过程、胶滴尺寸影响规律、胶滴一致性等方面的实验研究。实验结果表明,所设计的含柔性放大臂双压电叠堆驱动喷射阀可以实现最大工作频率200Hz、最小胶滴体积90nL、胶滴一致性±10%以内的稳定喷射点胶,达到了预期效果。