SmBiO3和YBiO3缓冲层的化学溶液沉积法快速制备及机理研究

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【摘要】

：

本论文以SmBiO3和YBiO3为代表,在钇稳定氧化锆(YSZ)或铝酸镧(LAO)基底上研究探索了REBiO3缓冲层薄膜化学溶液沉积(CSD)的快速制备工艺,并对其外延生长机理进行了初步探讨。本论文根据固态分解原理,将挥发、分解过程分离,提出并验证了三步加热处理法的工艺方案；并进一步将单独的分解处理工艺减去,使分解过程在外延处理工艺中完成,提出并验证了两步加热处理法的工艺方案,将REBiO3缓冲层

【作者】

：

张文英

【机构】

：

西南交通大学

【发表日期】

：

2013年05期

【关键词】

：

SmBiO3缓冲层 YBiO3缓冲层化学溶液沉积快速制备外延机理

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