【摘 要】
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随着电子信息技术、军事技术和航空航天技术的发展，人们对作为人机交互界面的显示器的要求也越来越高，平板化、低能耗和健康环保是未来显示技术发展的方向。无机交流薄膜电致发光(TFEL)显示器件以其全固态、主动发光、视角大、响应速度快、环境适应性强等优点正得到人们的广泛关注，特别是氧基交流薄膜电致发光器件，其热化学稳定性好、寿命长、显示性能优越，具有广阔的应用前景。本课题主要研究了Ga2O3:Mn电致发光
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随着电子信息技术、军事技术和航空航天技术的发展，人们对作为人机交互界面的显示器的要求也越来越高，平板化、低能耗和健康环保是未来显示技术发展的方向。无机交流薄膜电致发光(TFEL)显示器件以其全固态、主动发光、视角大、响应速度快、环境适应性强等优点正得到人们的广泛关注，特别是氧基交流薄膜电致发光器件，其热化学稳定性好、寿命长、显示性能优越，具有广阔的应用前景。
本课题主要研究了Ga2O3:Mn电致发光薄膜的制备技术和热处理技术及其发光性能。采用电子束蒸发技术制备了Ga2O3：Mn薄膜。结合表面形貌、显微结构等微结构分析和折射率测量，研究了Ga2O3：Mn薄膜的微结构和发光性能与其制备工艺和热处理工艺之间的关系，进行了工艺优化，确定了良好的制备工艺和热处理工艺参数。制备出了具有较好发光性能的以BaTiO3陶瓷片为基片的Ga2O3：Mn薄膜电致发光器件。
研究结果表明：热处理温度对Ga2O3：Mn薄膜的结晶结构、结晶取向具有重大影响。随着热处理温度的提高，Ga2O3：Mn薄膜的结晶度逐渐提高，Ga2O3：Mn薄膜由非晶态逐渐转变为多晶态，由低温热处理时的单斜、六角和立方等混合晶系结构逐渐转变为以单斜晶系为主的晶体结构。Ga2O3：Mn薄膜电致发光器件发绿光，其发射光谱主峰在490nm～535nm之间，且随着驱动电压的增加，发射光谱有蓝移现象。Ga2O3：Mn薄膜电致发光器件的发光性能，不仅与Ga2O3:Mn薄膜的结晶度有关，而且更取决于膜的晶体结构和结晶取向。
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