反射式激光扩束系统由于其光学结构紧凑,设计简单,能够实现系统的无色差,低损耗,几乎可以实现99%以上的能量反射,在光电对抗领域应用十分广泛。随着近年来科学技术的高速发展,反射式激光扩束系统逐步走向大众领域,其工作谱段由可见、红外单一谱段向可见光、近红外、中波红外及长波红外等多谱段方向发展。由于涉及光谱波段数量的增多,对高反射率薄膜提出了更高的要求,这些严苛的要求导致高反膜的厚度与层数在相应增加,薄膜应力问题也显得十分严重,不仅影响成膜质量,还增加试验成本,降低产品良率。本文主要针对高反射膜的应力问题,引入有限元分析的方法,模拟基底与薄膜温度变化过程,通过优化沉积工艺,降低薄膜应力的影响,从而提高膜层质量。本文基于石英玻璃基底研制0.532μm、1.064μm、3.7～4.8μm多谱段高反射膜,筛选的高折射率材料是Zn S,低折射率材料是Yb F3,依据传热过程的有限元理论基础,利用有限元分析法,通过多物理场仿真软件COMSOL Multiphysics,将热应力场与温度场相结合建立三维模型,分析基底与薄膜的应力分布情况。基于对高反射膜涉及的设计理论、高反射膜的损耗理论以及光学常数的拟合与计算理论,利用Macleod、Optilayer等膜系设计软件分析研究表明,使用Zn S材料作为最外层时,其反射率散射损耗最低。针对膜系结构以及薄膜材料性能,通过有限元分析方法与实验,优化了薄膜的沉积工艺,降低膜层的热应力对薄膜的影响,提高膜层牢固度。对所制备的薄膜进行光谱性能、膜层牢固度以及摩擦测试,使用AFM（原子力显微镜）观察薄膜表面形貌,所制备的薄膜元件能够满足激光扩束系统的使用要求。