论文部分内容阅读
原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)根据其悬臂的工作状态可以分为接触式AFM和动态AFM,实验室自制的多模态原子力显微镜既可以在接触模式下也可以在动态模式下对物体表面形貌进行扫描,并且可以利用硅悬臂的高阶谐振幅值特性对物体进行三维扫描来提高动态AFM的动态特性。为了进一步得到物体表面的更多信息,在实验室自制多模态原子力显微镜系统的基础上又为动态AFM系统加入了利用悬臂各阶谐振的相位特性和频率特性进行扫描的反馈系统,论文主要介绍了以下工作:(1)对动态原子力显微镜系统