MEMS(微机电系统)是21世纪科技与产业的热点之一,它的应用已经并正在给很多产业带来巨大的变革。安全系统是引信的重要组成部分,对整个武器系统发挥效用起着关键作用。引信安全系统的微型化是小口径弹药发展的关键技术和难点所在,采用MEMS技术将有助于这一问题的解决,对引信的研制将产生深远影响。本文对一种新型微机电安全系统中的隔爆机构进行了设计,并根据此隔爆机构设计了安全保险装置的模拟样机,为进一步设计安全系统奠定了基础。隔爆机构中结构的运动是依靠微弹簧实现的,因此本文首先对几种常用的平面微弹簧在线性范围内的刚度计算公式进行了推导,通过比较分析,选择了适用于本文结构的“S”型微弹簧,并分析了各参数对“S”型微弹簧刚度的影响,为后面隔爆机构的设计提供了基础。在微弹簧的设计基础上,本文设计了一种隔爆机构,并通过有限元软件ANSYS对其进行了仿真,仿真结果初步证明了结构的可行性,针对结构在加工和实验过程中出现的问题进行了改进,在改进结构的基础上设计了模拟样机,为安全保险装置的进一步设计和实验提供了基础。针对本文所设计的隔爆机构,加工工艺主要考虑了LIGA和UV-LIGA技术,通过对二者的详细介绍和比较,选择了UV-LIGA技术,并设计了可加工双层结构的工艺流程。实践证明,用此工艺流程可以加工出所设计的双层可动结构,且加工的结构比较理想。最后本文对用UV-LIGA技术成功制备的结构进行了拉力测试实验和抗高过载实验。实验表明,所设计的结构在微弹簧线弹性范围内可以实现错位解除保险的功能,并且可以满足抗高过载的要求。