在到达地面的太阳能中,可见光占45％,红外光占50%,目前对于这近50%的红外光的开发应用并不多。随着建筑形式的现代化,窗户和玻璃幕墙占外表面积的比例越来越高,由于其在保温、隔热、和吸收太阳光等方面的多重功能,使得智能窗薄膜材料成为影响建筑物本体能源消耗的最主要因素。　　应用智能窗薄膜材料,在冬季室内温度低时,自动让太阳能辐射中的红外光高透过率入射到室内,通过光热转换提高室内的温度,减少采暖耗能;在夏季室内温度高时,自动阻止红外光入射到室内,从而阻止室内温度升高,大大减少空调的制冷负担。因此使用智能窗薄膜材料能实现建筑物的全年节能。　　在诸多的太阳能材料中,热致相变型二氧化钒薄膜由于其独特的开关性能受到越来越多的重视。本论文分别以蓝宝石和K9玻璃为衬底,研究了纳米低温相变二氧化钒薄膜的制备工艺。并对其进行了结构特征、电学特性、光学特性的测试。　　论文进行了以下主要工作:　　首先,根据课题提出的智能窗对可见光透过率和红外光开关率的设计目标,通过TFCalc薄膜设计软件分析了以蓝宝石和K9玻璃为衬底的膜层结构,得到了最佳透过率的各层薄膜的厚度,为工艺制备作理论性指导。　　其次,研究了通过离子束反应溅射和后退火工艺制备二氧化钒薄膜的方法,并详细分析了各个控制参数对薄膜质量的影响,得出制备过程中氧气分压、衬底温度和后退火的温度是最为关键的,并给出详细的工艺参数。　　最后,对制备的薄膜运用光学轮廓仪、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射测试仪(XRD)、四探针电阻测试仪对薄膜的厚度、表面形貌、薄膜的相结构和电学特性进行了测试。结果显示制备的薄膜具有纳米结构,相变温度接近室温。并探索性地对VO2薄膜进行了光开关时间的测试。通过紫外/可见光/近红外分光光度计对薄膜进行了不同温度下透射光谱测试,并对可见光波段进行了增透设计并通过工艺得到了实现。