【摘 要】
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该文采用溶胶-凝胶工艺和提拉成膜技术,以正硅酸乙酯、异丙醇铝等金属醇盐为原料在氧化铝陶瓷基片上制备出没有龟裂的Licl/SiO复合湿敏薄膜.实验表明,薄膜的表面形貌和性能与
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该文采用溶胶-凝胶工艺和提拉成膜技术,以正硅酸乙酯、异丙醇铝等金属醇盐为原料在氧化铝陶瓷基片上制备出没有龟裂的Licl/SiO<,2>复合湿敏薄膜.实验表明,薄膜的表面形貌和性能与水的加入量、催化剂的种类和加入量、干燥工艺及热处理条件等密切相关.在仔细控制金属醇盐水解条件下将湿敏膜在室温下干燥后以1℃/min的升温速率进行热处理,得到的薄膜湿敏性能好,吸脱湿响应快,湿滞差增大.
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