ZnO薄膜制成的气敏传感器具有响应速度快、恢复时间短、选择性好、对环境污染小等特点,可以用来检测各种易燃、易爆及危险气体,是目前应用广泛的气敏材料之一,其中掺杂是提高ZnO材料的灵敏度和选择性的主要途径。本文主要采用sol-gel法制备出ZnO颗粒和薄膜,并对其结构和组成进行分析,研究了ZnO薄膜制备工艺及掺杂对乙醇及丙酮气敏特性的影响,简要分析了其气敏机理,得到了下列结果:1.利用sol-gel法成功制备了粒径尺寸为14.4～34.2 nm的ZnO薄膜,分析表明:醋酸锌浓度对ZnO晶粒尺寸影响不明显;ZnO薄膜的晶粒尺寸随烧结温度的升高而变大; La³⁺、Cu²⁺等元素的掺杂导致ZnO薄膜晶粒尺寸明显减小。2.分别研究了加热电压和烧结温度对ZnO薄膜的气敏特性的影响,分析表明:对于纯的ZnO薄膜,其灵敏度随加热电压的升高而升高,加热电压为5.11 V时,对乙醇灵敏度达到最高;随烧结温度升高,灵敏度先升高后降低,最佳烧结温度为500℃,此时灵敏度最大。3.研究了ZnO薄膜掺杂La³⁺、Ce³⁺、Cu²⁺后对乙醇的气敏性能,结果表明:掺杂La³⁺、Ce³⁺、Cu²⁺后的ZnO薄膜对乙醇气氛的灵敏度比未掺杂样品高两倍多,但同时加热电压也升高,这可能是因为掺杂后改变了薄膜的晶界处的微观结构;掺Cu²⁺的ZnO薄膜对乙醇灵敏度最高,可达23.32。