调制靶是惯性约束聚变实验(ICF)中的重要装置。随着对Rayleigh-Taylor流体力学不稳定性的研究的深入,聚合物平面调制靶已经不能够满足实验需求,而要求以空心玻璃微球为基体制备表面具有一定调制图形的球面调制靶,用于惯性约束聚变实验。本文首先简要介绍了当前国内外在微细加工、调制靶方面的相关技术的现状和发展趋势,特别是详细介绍分析了以玻璃等硬脆性材料为加工对象的微细加工技术的现状,以及球面调制靶的基体——空心玻璃微球(HGM)的制备技术及其性能。简要介绍了本课题所使用的准分子激光加工机。在对玻璃微球性质的分析和准分子激光机光路传输系统解析的基础上,讨论了利用248 nm KrF 准分子激光刻蚀玻璃材料的问题。通过试验摸索出了一种有效的准分子激光刻蚀玻璃材料的工艺方法,成功地在玻璃片上进行了刻蚀试验;进而,提出了一种准分子激光直接刻蚀玻璃微球的加工方法,成功地在玻璃微球上刻蚀出点阵和图形。最后,对本文所提出的加工方法的优点、不足和需要改进之处进行了讨论,并对将来的实验研究作了分析和展望。