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该文结合哈工大精密加工研究所研制的三坐标测量机,对微小尺寸测量中的微定位技术进行了研究.研制了X,Y二维工作台的控制系统,并进行实验研究了其特性.对Z向工作台研制了维持光电流恒定的闭环控制系统,引入了PID调节器,以提高系统的定位精度.对Z向采用标准样块进行了标定,并测量了一金刚石刀具的刃口半径.经实验验证,该系统可以实现微小尺寸的高精度测量.