MEMS器件分层失效的强化试验技术研究

被引量 : 13次 | 上传用户：monkey825

【摘要】

：

MEMS器件应用前景广阔,其可靠性问题引起了人们越来越多的重视。硅基底多层结构是MEMS器件的重要组成部分,其特性将直接影响MEMS的可靠性。分层失效是MEMS的典型失效模式之一,然而环境应力对其影响机理尚不明确,也没有标准化的试验方法。本文将可靠性强化试验引入MEMS领域,研究MEMS的分层失效机理,建立其可靠性强化试验的温度、振动和冲击单应力剖面。主要研究内容如下:1.对硅微结构的分层失效进行

【作者】

：

张亚君

【机构】

：

国防科学技术大学

【发表日期】

：

2014年12期

【关键词】

：

硅微结构分层失效可靠性强化试验有限元仿真环境应力 MEMS

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

高速转子动平衡方法研究

该文基于机械振动和转子动平衡理论,通过建立软支承动平衡机系统动力学模型,对平衡机系统进行了动力学分析,并讨论了支承滚轮偏心等干扰因素对平衡结果的影响规律.以影响系数

学位

转子平衡高速喷漆涡轮支承滚轮遗传算法神经网络

浅谈朗读训练在民族小学汉语文教学中的作用

本文通过对荣华二采区10

期刊

基于灰自助模型下的双渐开线齿轮振动疲劳寿命预测

乏信息即贫信息,指研究对象呈现的特征信息不完备或不充分,缺乏先验知识。在低碳经济背景下,齿轮传动逐渐向轻量化、高功率密度方向发展,其面临的强度和可靠性问题更加突出。长期以来,齿轮疲劳性能评价主要依靠经典力学、疲劳寿命试验,并以威布尔、指数分布或对数正态分布为假设,进行可靠性分析;传统的疲劳试验分析方法以大样本经典统计理论为基础,不仅需要大量的试验工作投入,而且人力、物力耗费巨大,发展相对滞后;随着

学位

乏信息理论双渐开线齿轮灰自助模型寿命预测

射孔套管剩余强度研究

目前,射孔段套管设计未考虑射孔孔眼对套管强度的影响,给射孔段套管的使用埋下了隐患,造成很多射孔段套管不正常损坏.为了进一步完善射孔段套管力学研究,为射孔套管承载能力

学位

套管射孔剩余强度应力集中

混合动力电动汽车多能源动力总成控制系统的研究与实现

该文全面介绍了作者在实现多能源动力总成控制这一混合动力电动汽车领域的关键技术问题上所作的研究.一是建立了多能源动力总成系统单元结构动态模型,形成HEV仿真系统,为HEV

学位

混合动力电动汽车多能源动力总成控制功率分配策略

蜂窝夹层结构压电半主动振动控制研究

蜂窝夹层结构因具有质轻、比强度高、比刚度高等特点在航空航天领域得到广泛应用，但其振动问题突出，减振需求迫切。传统的振动控制技术，如敷设约束阻尼层，因附加质量较大而受到限

学位

蜂窝夹层结构振动控制等效模型压电智能材料同步开关阻尼航天器

伽玛刀治疗计划系统中三维表面重建技术研究

伽玛刀是治疗癌症肿瘤的重要医疗设备之一。提高伽玛刀疗效的关键在于制订合理、科学的治疗计划,一切治疗计划的基础均在于准确定出肿瘤位置以及它和病人躯体轮廓、周围正常组织的关系,因此医学图像三维重建是伽玛刀治疗计划系统的重要技术支撑。对医学图像三维重建的研究,具有重要的学术意义和应用价值。传统的基于轮廓线三维重建方法中,直接采用由序列轮廓线生成的平面三角片拟合曲面,重建的效果和表达的信息均有限。本文在研

学位

治疗计划系统三维表面重建三角Bezier曲面Gouraud-Phong算法三维显示模型

Discovering myeloid cell heterogeneity in the lung by means of next generation sequencing

The lung plays a vital role in maintaining homeostasis,as it is responsible for the exchange of oxygen and carbon dioxide.Pulmonary homeostasis is maintained by

期刊

Acute lung injuryLung cancerLung diseaseLung developmentSingle-cell RNA sequ

高灵敏度蝶翼式微陀螺结构设计与加工工艺

微陀螺的广泛应用已经给现代生活带来了重大变革,但如何得到高性能的微陀螺一直是研究的热点和难点。本文以本教研室研制的蝶翼式微陀螺为研究对象,提出了一种新的提高灵敏度

学位

蝶翼式陀螺六边形斜梁频差灵敏度

硅微陀螺环境适应性封装技术研究

研发高性能硅微机电陀螺,对于增强国防实力提高综合国力具有非常重要的意义。而目前我国研制的微机电陀螺在工程化应用方面还有较大差距,究其主要原因是由于微陀螺的稳定性和

学位

硅微陀螺零偏稳定性温度控制减振结构

MEMS器件分层失效的强化试验技术研究

与本文相关的学术论文