船舶液压系统在船舶行业中有着大量的应用,而液压系统中约80%的工作不稳定或故障都与液压油的污染有关。因此,对液压油中的主要污染物进行检测可以实现液压设备的故障预测与诊断,延长设备的工作寿命、节约经济成本。在液压油中,对于金属颗粒污染物,目前常用的光谱分析法和铁谱分析法存在耗时长、需专业人员操作的缺点,超声检测法可能对油液造成二次污染,聚积测定法无法区分铁磁性和非铁磁性金属颗粒;对于水污染物,目前常用的蒸馏法实验效率低,卡尔·费休法耗材大、耗时长,红外光谱法难以实际应用;对于气泡污染物目前少有较优的检测方法。本文将传统的微流控油液污染物检测传感器与谐振原理相结合,设计了谐振式微流控传感器对油液中多种污染物进行区分检测研究,主要内容包括:根据微电容传感器和微电感传感器的检测原理对两个传感器进行初步设计,并对激励频率给检测灵敏度带来的影响进行讨论并仿真;利用COMSOL Multiphysics软件进行传感器的结构优化设计,通过塑模法制作微传感器并搭建检测系统,按实验所需配置油样;在实验中运用两个微传感器分别对油液中的铁颗粒和铜颗粒、水滴和气泡进行区分检测,验证微传感器的可行性,通过实验数据分析激励频率对微传感器的检测灵敏度的影响,并探究微传感器的检测下限。实验结果表明:微电感传感器可以对铁磁性和非铁磁性金属颗粒进行区分计数检测,微电容传感器可以对水滴和气泡颗粒进行区分计数检测。对于微电感传感器,当激励频率为谐振频率且等于0.9MHz时检测效果最佳,其对铁磁性金属颗粒的检测下限为粒径20μm的铁颗粒,对非铁磁性金属颗粒的检测下限为粒径80μm的铜颗粒;对于微电容传感器,当激励频率为谐振频率且等于0.6MHz时检测效果最佳,其对水的检测下限为粒径100μm的水滴,对空气的检测下限为粒径180μm的气泡。相比于传统的颗粒计数类传感器,检测精度有了明显提升,实现了高精度检测。本文的研究内容对于未来展开便携式多种污染物快速区分检测计数装置的研发具有参考价值。