随着MEMS,微电子制造技术的不断发展,人们对于元件加工精度的要求越来越高,而实现这些的前提是能够达到纳米级的精密测量技术。在目前的技术当中,椭偏法以其高精度,高灵敏度,能够实现非接触测量等优点而被广泛的应用于光电器件,材料,生物科技等领域当中。本文基于椭偏法,提出了一种测量平板玻璃间隙距离的方法。使用椭偏光度法,在固定偏振片和1/4波片的情况下,建立起探测器采集到的光信号强度与平板玻璃间隙距离的关系,并用MATLAB进行仿真,分析了这种测量方法的精度及可行性;通过旋转起偏器和检偏器,探测器采集到的光信号强度为0时,起偏器和检偏器的透光方向与被测量之间的函数关系,用MATLAB进行仿真,对不同入射角时的数据结果进行了对比,得出了使用这种方法进行测量时最佳的入射角大小,以及测量精度,对实验仪器存在的测角误差对测量结果的影响进行了分析,提出了减小误差的方法;提出了改进的消光法,即采用旋转1/4波片和检偏器的方式,实现对出射光任意椭圆偏振态的测量。这种方法能够由探测器接收的光信号强度为0时,1/4波片快慢轴的方向和检偏器透光方向,根据函数关系对被测量进行计算;针对消光法搭建了实验平台,进行了间隙距离的测量,并对理论仿真结果进行了验证,对实验过程中造成误差的因素进行了分析。综合仿真数据和实验数据的结果,采用消光式椭偏法测量平板玻璃的间隙距离时,当入射角为60°时,通过选取符合要求的测量仪器,这种方法能够达到10nm的测量精度,测量范围能够达到350nm。