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微细电解加工中电--气液动力学仿真及观测研究
【摘 要】
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随着表面微织构在汽车领域、微电子芯片领域以及太阳能电池等诸多工程领域中展示的出巨大应用潜力,运用电解加工技术在工件表面加工出具有一定尺寸和排列的微细凹坑、凹痕等图案的微细加工技术也成为目前电解加工技术研究领域中较为热门的研究点。微细加工过程涉及到的各种物理、化学场对工件的影响程度又不同于传统的电解加工,当运用电解技术加工微结构时,由于加工间隙较小且电源多为脉冲电源,电解液流动方式也多为静液,因此在
【机 构】
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广东工业大学
【出 处】
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广东工业大学
【发表日期】
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2019年01期
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