为了提高蒸汽轮机叶片的使用寿命和其使用性能,利用闭合非平衡磁控溅射技术,通过调整Ti靶功率,在1Cr10Co3MoWVNbNB耐热钢基体上制备不同Ti含量的(Cn1-xTix)N硬质涂层。利用带能谱功能的扫描电子显微镜对涂层进行形貌观察与成分分析,用XRD进行相结构分析。涂层厚度利用球磨法测定。采用纳米硬度压痕法测量硬度和弹性模量。涂层结合力用拉拔法测定,同时利用pin-on-disc试验机对涂层的摩擦磨损性能进行测定并观察磨痕形貌。对基体及不同工艺制备的涂层试样进行700℃高温氧化试验,并利用XRD、EDS和SEM等设备对氧化后的涂层相结构和表面状态进行观察分析。实验结果表明,随着Ti靶功率的增加,涂层中Ti含量增加,涂层由CrN相结构为基础的(CrTi)N结构,变成CrN和TiN相结构混合并存的结构,且涂层的晶化程度提高。涂层表面质量好,涂层表面颗粒随Ti含量的增加呈长大趋势。随着Ti含量的增加,涂层的厚度在2.01μm至3.5μm区间内不断增厚。涂层硬度值在X=0.39时达到最大,为23.38GPa,涂层与基体之间硬度过渡平缓。不同工艺制备的涂层均提高基体的耐磨性能,对基体具有一定的保护作用。涂层在700℃的环境下能有效保护基体,未制备涂层的基体试样2小时氧化后就出现了铁的氧化物,氧化严重；A、D工艺试样氧化20小时后,涂层表面氧化物颗粒细小,氧含量较低；Ti元素的加入并没有破坏氧化膜的完整性,由于TiO2择优生长,使氧化膜表面颗粒长大,没有使其破裂与剥落,对基体仍具有保护能力。