论文部分内容阅读
惯性约束核聚变(ICF)成为当今世界各国为发展核能源的重要研究方向。准确的测量光学元件面形对此项研究具有非常重要的作用。在测量平行平板类光学元件时,通常会产生多表面干涉,使用普通硬件移相干涉仪进行测量,无法区分多组干涉条纹,从而不能准确的测量光学元件的面形。本论文针对多表面干涉波面复原技术展开研究。根据波长移相原理与傅里叶变换理论,结合三表面干涉,通过计算得到不同厚度下的被测元件厚度与前标准镜和被测元件间距离的最优比例关系。对采集到的多组干涉图进行傅里叶变换,通过提取带有被测元件前后表面面形