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磁电复合材料不仅具有铁电和铁磁性,而且具有磁电耦合性能,具有广泛的应用前景,而目前普遍使用的铅基磁电复合薄膜,因其产生环境污染并对人体健康产生危害,从而使该类磁电复合薄膜的应用受到限制。本文采用溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出了La掺杂的Bi4-xLaxTi3O12(BLTO)铁电薄膜和Mn掺杂的Ni1-xMnxFe2O4(NMFO)铁磁薄膜,以及两种不同沉积顺序的BN(先沉积铁磁相)和NB(先沉积铁电相)2-2型磁电复合薄膜,研究了薄膜的制备工艺对铁电薄膜、铁磁薄膜和磁电复合薄膜