随着现代电子技术的飞速发展，集成电路的小型化趋势越来越明显，器件特征尺寸向着超深亚微米甚至纳米量级发展，互连线单位面积上承载的电流密度也越来越大，金属互连电迁移已成为超大规模集成电路的主要失效机理之本文在介绍电迁移失效机理、铝互连晶体结构、电迁移失效常用的测试技术的基础上，设计了针对不同表征参量的实验方案。在电迁移的不同时期，金属内部动力学机理是不同的。首先针对不同阶段电迁移动力学特征设计不同的实验方案，以反映互连电迁移失效机制和筛选敏感参量；其次把子波引入到电迁移分析当中，用于研究噪声信号的奇异性。通过对变电流电迁移表征实验中噪声信号子波参量Ljpschitz指数α计算和分析，得到随着电迁移的进行，噪声信号的奇异性变化的规律。在开始阶段，电迁移信号为非平稳信号；随着时间的进行，晶体内部逐渐稳定，奇异性减小；在电迁移后期，晶体内部发生剧烈变化，奇异性又开始变大。而子波参量Lipschitz指数反应了这种变化，当奇异性变大时，Upschitz指数α减小；当奇异性减小时，Upschitz指数α增大。