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在多晶硅工业中，氯硅烷作为生产多晶硅的重要原料，即使原料中含有痕量的杂质，最终也会影响多晶硅产品的质量。杂质主要是金属氯化物、三氯化硼（硼在硅中作为一种正电荷掺杂剂）、三氯化砷、三氯化磷(磷在硅中作为一种负电荷掺杂剂）等。氯硅烷精制技术的难点在于杂质和氯硅烷的沸点接近，通过传统的精馏法难以除去，并且精馏塔级数多（一般是5塔以上）、产品质量不稳定、设备投资费高、体积庞大、能耗高等。针对该问题，本文采用Aspen Plus和Pro/II化工模拟软件，并且运用热泵精馏和隔板精馏及隔板差压热耦合节能