随着电力工业的迅速发展,SF6电气设备数量不断增多,对SF6气体的质量监督日益重要,纯净的SF6气体具有优良的绝缘性能和优越的灭弧特性,但是SF6电气设备的气体不可避免的含有杂质,如水分、空气等。在电弧或电晕作用下,水分容易与SF6气体的分解物反应生成毒性物质,从而腐蚀电气设备,降低设备绝缘性能。若水分含量超标,将严重影响设备的电气性能、机械性能和开断性能,造成许多严重的后果。本文论述了检测SF6电气设备中SF6微水含量(湿度)的重要意义,分析比较了国内外目前测量湿度的几种原理,根据各自的特点,选择了适合本系统的测量方法,提出了SF6中微水含量检测系统的总体设计方案。本系统智能化程度高、性能稳定、操作简单,实现了体积小、功耗低、抗干扰性强的特点。开发了以32位处理器S3C44B0为核心,包括A/D转换模块、LCD液晶显示模块、RS485通讯模块以及键盘模块在内的ARM中央硬件处理平台;完成了各电路模块印刷电路板的制作和调试;在ARM集成开发环境ADS1.2下完成了系统的启动代码和应用程序的编写,和上位机监控软件的编写;并结合硬件电路完成了整个系统的调试;最后在实验室完成了测试系统的标定实验。本系统气体浓度测试中采用红外光谱检测技术设计出的传感器,与传统的同类传感器相比,具有响应速度快、使用寿命长、能在恶劣环境下工作的优点;系统采用了ARM嵌入式处理器,实时性好,可脱机运行,携带方便,有良好的市场应用价值。