随着德国“工业4.0”高科技战略计划的提出,一场以智能制造为主导的第四次工业革命悄然爆发。在场式时栅位移传感器各种误差源中,在工作环境恶劣的情况下,热误差是影响时栅精度的重要误差源。而且,随着时栅精密度越高,热误差所占比例越大,因此减小热误差对提高时栅传感器的测量精度具有至关重要的意义。综合国内研究者的研究内容,场式时栅热误差的分析主要从时栅测量角度表达式出发,对影响测量角度量旋转磁场角速度、插补脉冲个数、插补脉冲信号的周期这三个量开展研究。本文简要介绍时栅传感器的理论,将场式时栅传感器分成信号发生部分和信号处理部分,从信号发生部分和信号处理部分两大方面参考国内文献详细分析场式时栅传感器的各项误差源,从各项误差源中找出影响场式时栅传感器的热误差项,从场式时栅位移传感器的误差源的分析来看,这些误差源不仅种类繁多而且大部分定量分析比较困难,热误差源的分析将在各个误差分析的基础上进行归类分析,得到场式时栅位移传感器热误差的实际评定方法,理论上提出温度对场式时栅传感器测量具有一定影响,然后进行场式时栅热误差测量实验,测量温度对场式时栅带来的误差,数据分析得到温度对场式时栅传感器精度影响的规律。