磁微致动器的多能量域建模及数值模拟研究

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【摘要】

：

微致动器(Microactuator)是MEMS实现物理功能的关键器件，是MEMS应用研究中的热点。在IC工业中，先进的CAD系统已有效地用于集成电路的设计与仿真。但他们中的大部分却不适用于微致动器的设计。由于微致动器是复杂的微机电系统，目前尚无成熟的微致动器多能量域建模和模拟仿真技术。对如何在同一硅基片上进行能与硅微电子学材料和工艺兼容的各种动作形式和结构的新型微致动器设计，尚缺乏有效的手段和方

【作者】

：

王群伟

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2003年01期

【关键词】

：

MEMS 微致动器多能量域建模器件级仿真有限元分析

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