近年来,随着人们对健康生活和环境保护的越来越重视,因此对一些易燃有毒气体的有效检测具有十分重大的意义。由金属氧化物半导体材料制作成的传感器由于价格低廉,稳定性好,灵敏度高,易于集成化而被广泛地应用于气敏传感领域。In₂O₃是一种典型的N型半导体材料,在检测一些有毒易挥发的气体包括C₂H₅OH、HCHO、CO、NO₂和H₂S,扮演着重要的角色。在此背景之下,本论文着重地研究了In₂O₃半导体材料,试图解决传统In₂O₃基传感器能耗大、选择性差等缺点。此外,其它的金属氧化物如SnO₂、ZnO材料我们在文中也做了初步的探索。总的来说,本论文取得了以下研究成果:（1）合成了花状In₂O₃微米棒材料。采用了一步水热法和随后的煅烧过程,成功制备了一种花状In₂O₃微米棒材料,并且通过控制添加剂葡萄糖和尿素的质量比可以得到不同形貌的In₂O₃样品。基于此,我们还详细地阐述了这种花状In₂O₃微米棒材料可能的生长机理。最后,我们还对基于该形貌的In₂O₃微米材料传感器做了对乙醇气体的气敏研究。结果发现,该传感器对乙醇气体表现出了优异的选择性、较低的检测限（1 ppm）和良好的重复性。（2）花状In₂O₃微米棒材料的改性。在以上这种形貌新颖的花状In₂O₃微米棒材料的基础上通过原位掺杂Cu对材料进行气敏改性。通过相关表征的结果表明,Cu²⁺进入了In₂O₃的晶格内部,使其对NO₂的气敏性能有了很大的提升,具体表现在,与纯的In₂O₃样品相比,2%mol Cu-In₂O₃对NO2的检测低至20 ppb,而且在一系列有机挥发性气体（VOCs）和其它无机气体的干扰下,对NO₂表现出了非常好的选择性,这在一定程度上对新型NO₂传感器的研发开拓了新方向。（3）制备了SnO₂-ZnO中空微米纤维材料。用静电纺丝法制备了SnO₂-ZnO中空微米纤维材料并探索了基于该材料的传感器对丙酮的气敏性能。结果发现,与纯的SnO₂和ZnO微米纤维相比,复合中空纤维材料传感器对丙酮的气敏性能要更好,这主要归因于这种材料的中空结构和复合材料中两种氧化物颗粒的相互作用。