超声原子力显微镜的微观力学性能仿真研究

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近年来,随着微电子、微机械和材料科学的飞速发展,人们对微纳米尺度的成像和检测技术要求越来越高。传统的成像和检测技术已经不能满足我们在纳米尺度范围内的观察和测量。具有纳米级别超高分辨率的成像检测技术已经变成了一个挑战,并且它影响着我们对很多材料微观结构和性质的研究。传统的声学和光学检测技术分辨率比较低,只能达到微米级。原子力显微镜和扫描探针显微镜只能对样品的表面进行成像,而不能对样品的亚表面或内部进行成像。超声原子力显微镜具有纳米级别的超高分辨率和三维成像能力,不仅可以对样品表面进行成像,还可以对样品
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