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建筑门窗的能耗约占到建筑物全部热损失的50%,因此减少玻璃窗的热损失对建筑节能具有非常重要的意义。由于低辐射玻璃比较高的可见光透过率,能保证室内有良好的采光,其对远红外也有很好的反射率,有很的节能效果,可以有效地减少采暖和空调费用,因此低辐射玻璃得到了越来越广泛的应用。银系低辐射玻璃通常将TiO2、SnO2等氧化物作为介质膜,所以很难避免Ag膜被氧化,且不能对Ag起到好的保护作用。由于氮化钛薄膜具有良好的可见光透过率、化学稳定性和一定的远红外反射率。本实验将其用作低辐射膜的介质膜,研究其光学性能和耐腐蚀性能。本课题以银靶和钛靶为靶材,N2为反应气体,Ar气为工作气体。采用射频磁控溅射法在玻璃基片上沉积TiNx/Ag/TiNx薄膜。运用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、场发射描扫显微镜(SEM)、四探针电阻仪、紫外/可见/近红外分光光度计、台阶仪、傅里叶红外光谱仪等手段对制备的薄膜样品进行测试和分析。研究表明,氮化钛薄膜呈非晶态,外层TiNx薄膜表面存在着较多的Ti-O键,对低辐射膜的可见光透过率有提高作用。低辐射膜的可见光透过率随着Ag膜的增厚先增加后降低,随着氮气流量的增加而增加,随着TiNx薄膜的溅射功率的增加先增加后降低;随着内层和外层TiNx薄膜厚度的增加,低辐射膜的透射峰发生红移但都对峰值影响不大。随着厚度的增加,外层TiNx薄膜越来越致密。当厚度达到32nm时,对H2S气体、NaOH溶液和NaCl溶液的腐蚀可以起到较好的保护作用,但本课题研究的低辐射膜耐HCl溶液腐蚀的能力还有待进一步提高。结构为16nmTiNx /16nmAg/32nmTiNx的低辐射膜有较高的可见光透过率,对光谱具有明显的选择性,同时具有优良的耐腐蚀性能。可见光透过率达到85%,近红外反射率可达到92%,辐射率为0.093。